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一种晶圆表面颗粒清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810638271.8
申请日：
2018-06-20
公开(公告)号：
CN110620031A
公开(公告)日：
2019-12-27
发明(设计)人：
苗涛
彭博
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
何丽英
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-11 | 授权 | 授权 |
| 2019-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20180620 |