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晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920687289.7
申请日：
2019-05-14
公开(公告)号：
CN209626188U
公开(公告)日：
2019-11-12
发明(设计)人：
彭博
李檀
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
白振宇
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-12 | 授权 | 授权 |