多晶硅电阻及其制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN200810043985.0
申请日
2008-11-24
公开(公告)号
CN101740639A
公开(公告)日
2010-06-16
发明(设计)人
陈华伦 熊涛 陈瑜 陈雄斌 罗啸
申请人
申请人地址
201206 上海市浦东新区川桥路1188号
IPC主分类号
H01L2986
IPC分类号
H01L2702 H01L2102 H01L218238 H01L21768
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
丁纪铁
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅电阻及其制作方法 [P]. 
钱文生 .
中国专利 :CN105895622A ,2016-08-24
[2]
多晶硅电阻结构及其制作方法 [P]. 
薛广杰 .
中国专利 :CN110739314B ,2020-01-31
[3]
栅极多晶硅和多晶硅电阻集成制作方法 [P]. 
陈瑜 ;
赵阶喜 ;
罗啸 .
中国专利 :CN103578949A ,2014-02-12
[4]
多晶硅电阻的制作方法 [P]. 
马万里 .
中国专利 :CN107919346B ,2018-04-17
[5]
多晶硅电阻结构与其制作方法 [P]. 
林孟汉 ;
黄文铎 ;
才永轩 .
中国专利 :CN112420693A ,2021-02-26
[6]
多晶硅电阻结构与其制作方法 [P]. 
林孟汉 ;
黄文铎 ;
才永轩 .
中国专利 :CN112420693B ,2025-07-25
[7]
锗硅HBT工艺中多晶硅电阻集成制作方法 [P]. 
陈曦 ;
周正良 ;
陈帆 ;
潘嘉 .
中国专利 :CN104064520A ,2014-09-24
[8]
多晶硅电阻的制备方法及多晶硅电阻 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109786216A ,2019-05-21
[9]
一种多晶硅电阻的制作方法 [P]. 
卓红标 ;
熊淑平 .
中国专利 :CN110729402A ,2020-01-24
[10]
多晶硅电阻及其制造方法 [P]. 
U·史密斯 ;
M·赖堡 ;
H·汉森 .
中国专利 :CN1196136A ,1998-10-14