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曝光装置及元件制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200580018359.0
申请日：
2005-06-07
公开(公告)号：
CN101095213A
公开(公告)日：
2007-12-26
发明(设计)人：
白石健一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21027
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：
寿宁
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-12-10 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101708366536 IPC(主分类):H01L 21/027 专利号:ZL2005800183590 变更事项:专利权人 变更前:尼康股份有限公司 变更后:株式会社尼康 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都 |
| 2008-02-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2007-12-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-18 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20050607 授权公告日:20100505 终止日期:20200607 |
| 2010-05-05 | 授权 | 授权 |