曝光装置及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510891261.1

申请日：

2005-06-07

公开(公告)号：

CN105467775A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

白石健一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟;王娟娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-10	授权	授权
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658485525 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015108912611 申请日:20050607
2021-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20050607 授权公告日:20180410 终止日期:20200607
2016-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN108490741A ,2018-09-04

[2]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101819386A ,2010-09-01

[3]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101095213A ,2007-12-26

[4]

曝光装置及元件制造方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN101776850B ,2010-07-14

[5]

曝光装置、曝光方法、元件制造方法及维护方法 [P].

白石健一 .

中国专利 :CN103439863B ,2013-12-11

[6]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105652603A ,2016-06-08

[7]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

长坂博之 ;

奥山猛 .

中国专利 :CN1981365A ,2007-06-13

[8]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105301918A ,2016-02-03

[9]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105487351A ,2016-04-13

[10]

曝光装置、曝光方法及元件制造方法 [P].

西井康文 .

中国专利 :CN1954408B ,2007-04-25

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