硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置

被引：0

申请号：

CN202210387252.9

申请日：

2022-04-14

公开(公告)号：

CN114653638A

公开(公告)日：

2022-06-24

发明(设计)人：

丁海军张爱鑫邢旭兰勇刚

申请人：

申请人地址：

614000 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B104 B08B1100 H01L2102 B07C508 B07C536 B07C538

代理机构：

北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739

代理人：

宋珊珊;李瑞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-24	公开	公开
2022-07-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20220414

共 50 条

[1]

硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置 [P].

丁海军 ;

张爱鑫 ;

邢旭 ;

谢胜伟 .

中国专利 :CN114570684A ,2022-06-03

[2]

硅片处理装置及硅片处理系统 [P].

李文 ;

刘红 ;

朱祝山 ;

高攀峰 ;

陈晓峰 .

中国专利 :CN208028027U ,2018-10-30

[3]

硅片加工处理系统及处理方法 [P].

耿文毅 .

中国专利 :CN103811292B ,2014-05-21

[4]

一种脱胶废水的循环处理系统 [P].

孟凯 ;

张克勤 ;

周宁 ;

董伊航 .

中国专利 :CN210438550U ,2020-05-01

[5]

硅片切割废液的处理方法及处理系统 [P].

陈江俊 .

中国专利 :CN108773934A ,2018-11-09

[6]

处理方法、处理装置及处理系统 [P].

于春飞 .

中国专利 :CN108900891A ,2018-11-27

[7]

处理方法及处理系统 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN110621426A ,2019-12-27

[8]

处理系统及处理方法 [P].

山田有纱 ;

佐野健二 ;

今田敏弘 .

中国专利 :CN104857855A ,2015-08-26

[9]

处理系统及处理方法 [P].

佐藤真路 .

日本专利 :CN118893302A ,2024-11-05

[10]

处理系统及处理装置 [P].

高篠智之 ;

长濑彻 ;

饭田浩司 ;

若松真衣 .

中国专利 :CN101610728B ,2009-12-23

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