硅片处理装置及硅片处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820370359.1

申请日：

2018-03-19

公开(公告)号：

CN208028027U

公开(公告)日：

2018-10-30

发明(设计)人：

李文刘红朱祝山高攀峰陈晓峰

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新区珠江路25号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-30	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片处理装置 [P].

左国军 ;

成旭 ;

邱瑞 ;

任金枝 .

中国专利 :CN212934566U ,2021-04-09

[2]

硅片加工处理系统及处理方法 [P].

耿文毅 .

中国专利 :CN103811292B ,2014-05-21

[3]

硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置 [P].

丁海军 ;

张爱鑫 ;

邢旭 ;

兰勇刚 .

中国专利 :CN114653638A ,2022-06-24

[4]

硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置 [P].

丁海军 ;

张爱鑫 ;

邢旭 ;

谢胜伟 .

中国专利 :CN114570684A ,2022-06-03

[5]

用于检测硅片位置的检测装置、硅片处理系统及检测方法 [P].

邓金生 ;

何堂贵 ;

彭亚萍 ;

余仲 .

中国专利 :CN108878329B ,2024-06-28

[6]

用于检测硅片位置的检测装置、硅片处理系统及检测方法 [P].

邓金生 ;

何堂贵 ;

彭亚萍 ;

余仲 .

中国专利 :CN108878329A ,2018-11-23

[7]

外延硅片预处理系统 [P].

康宏 ;

王作义 ;

卞小玉 ;

石广宁 ;

何传奇 .

中国专利 :CN211605111U ,2020-09-29

[8]

硅片处理装置和硅片处理设备 [P].

唐贝 .

中国专利 :CN118969672A ,2024-11-15

[9]

硅片处理系统及太阳能电池制造系统 [P].

李超 ;

黄浩 ;

赵川 .

中国专利 :CN217933822U ,2022-11-29

[10]

硅片切割废液的处理方法及处理系统 [P].

陈江俊 .

中国专利 :CN108773934A ,2018-11-09

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