硅片加工处理系统及处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210442146.2

申请日：

2012-11-07

公开(公告)号：

CN103811292B

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

耿文毅

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

陈振

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-21	公开	公开
2017-10-10	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760576599 IPC(主分类):H01L 21/02 专利号:ZL2012104421462 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583099240 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012104421462 申请日:20121107
2016-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片加工处理的系统及方法 [P].

李娟娟 .

中国专利 :CN104752128A ,2015-07-01

[2]

硅片处理装置及硅片处理系统 [P].

李文 ;

刘红 ;

朱祝山 ;

高攀峰 ;

陈晓峰 .

中国专利 :CN208028027U ,2018-10-30

[3]

硅片切割废液的处理方法及处理系统 [P].

陈江俊 .

中国专利 :CN108773934A ,2018-11-09

[4]

硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置 [P].

丁海军 ;

张爱鑫 ;

邢旭 ;

兰勇刚 .

中国专利 :CN114653638A ,2022-06-24

[5]

硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置 [P].

丁海军 ;

张爱鑫 ;

邢旭 ;

谢胜伟 .

中国专利 :CN114570684A ,2022-06-03

[6]

加工处理系统及求助处理方法 [P].

井上智辉 ;

小野史裕 ;

福原庄吾 ;

川胜翔太 ;

永野弓太朗 ;

中川巧阳 ;

津上圣也 ;

筿崎瑛乡 ;

井上大辅 .

日本专利 :CN118076927A ,2024-05-24

[7]

煤炭处理系统及煤炭处理方法 [P].

季亦平 .

中国专利 :CN105985790A ,2016-10-05

[8]

处理方法及处理系统 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN110621426A ,2019-12-27

[9]

处理系统及处理方法 [P].

山田有纱 ;

佐野健二 ;

今田敏弘 .

中国专利 :CN104857855A ,2015-08-26

[10]

处理系统及处理方法 [P].

佐藤真路 .

日本专利 :CN118893302A ,2024-11-05

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