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一种陶瓷表面碳化硅涂层的工艺

被引：0
申请号：
CN202210601996.6
申请日：
2022-05-30
公开(公告)号：
CN114890819A
公开(公告)日：
2022-08-12
发明(设计)人：
鞠德胜 朱建中 万荣群
申请人：
申请人地址：
214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区永盛路
IPC主分类号：
C04B4187
IPC分类号：
代理机构：
深圳市精英专利事务所 44242
代理人：
李巍
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-12 公开 公开
共 50 条
[1]
一种陶瓷表面碳化硅涂层加热装置 [P]. 
万荣群 .
中国专利 :CN220823302U ,2024-04-19
[2]
一种石墨表面碳化硅涂层的方法 [P]. 
孙丰武 ;
单连文 ;
孙鹏飞 .
中国专利 :CN102850085A ,2013-01-02
[3]
一种制备碳化硅涂层的方法 [P]. 
余盛杰 ;
史华 ;
廖家豪 .
中国专利 :CN120866795A ,2025-10-31
[4]
一种碳化硅涂层生产设备 [P]. 
于伟华 ;
黄修康 ;
汪勋 ;
王彬 ;
李存存 .
中国专利 :CN118045517A ,2024-05-17
[5]
一种制备碳化硅涂层石墨基座的方法及碳化硅涂层石墨基座 [P]. 
余盛杰 ;
刘玮琪 ;
陈峰 ;
许鹏飞 ;
廖家豪 .
中国专利 :CN120866797A ,2025-10-31
[6]
一种碳化硅陶瓷表面改性方法 [P]. 
王伟 ;
李红伟 ;
郭亚杰 .
中国专利 :CN102557730A ,2012-07-11
[7]
一种CVD法碳化硅涂层的制备方法 [P]. 
林培英 ;
李啸 ;
黄洪福 ;
朱佰喜 .
中国专利 :CN108359958B ,2018-08-03
[8]
一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223496707U ,2025-10-31
[9]
一种碳化硅涂层及具有碳化硅涂层的匣钵的制备方法 [P]. 
刘骏 ;
刘振华 ;
张海 .
中国专利 :CN110451984A ,2019-11-15
[10]
一种碳化硅陶瓷的连接方法、碳化硅陶瓷连接头和碳化硅陶瓷 [P]. 
李涛 ;
尧巍华 .
中国专利 :CN114315402A ,2022-04-12
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