一种陶瓷表面碳化硅涂层的工艺

被引：0

申请号：

CN202210601996.6

申请日：

2022-05-30

公开(公告)号：

CN114890819A

公开(公告)日：

2022-08-12

发明(设计)人：

鞠德胜朱建中万荣群

申请人：

申请人地址：

214200 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区永盛路

IPC主分类号：

C04B4187

IPC分类号：

代理机构：

深圳市精英专利事务所 44242

代理人：

李巍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-12	公开	公开

共 50 条

[41]

一种碳化硅涂层石墨基座的制备方法 [P].

戴煜 ;

吴建 ;

王林静 ;

王卓健 .

中国专利 :CN112374912A ,2021-02-19

[42]

一种碳化硅陶瓷的制备方法及碳化硅陶瓷的应用 [P].

区升举 ;

葛春 .

中国专利 :CN119504264A ,2025-02-25

[43]

一种CVD法碳化硅涂层的制备方法 [P].

吴伟荣 ;

郭凤祥 .

中国专利 :CN116969777B ,2025-02-11

[44]

甲基硅烷制备碳化硅涂层的方法 [P].

张建军 .

中国专利 :CN117510236A ,2024-02-06

[45]

一种制备碳化硅材料的方法及碳化硅材料 [P].

万强 ;

刘毅 ;

余盛杰 ;

廖家豪 ;

柴攀 .

中国专利 :CN119307879A ,2025-01-14

[46]

一种三代半导体用碳化硅涂层工艺 [P].

赵光燮 ;

张跃伟 ;

姚树天 .

中国专利 :CN117476473A ,2024-01-30

[47]

一种快速CVD沉积碳化硅涂层的方法 [P].

李文杰 ;

张伟 ;

孙海滨 ;

任意 ;

刘子昂 ;

张旭 ;

张继传 .

中国专利 :CN121137554A ,2025-12-16

[48]

一种制备高导热碳化硅涂层的方法 [P].

王菲 ;

余盛杰 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN120989581A ,2025-11-21

[49]

一种碳化硅陶瓷 [P].

张文生 .

中国专利 :CN206217266U ,2017-06-06

[50]

一种碳化硅纤维表面复合陶瓷涂层及其制备方法 [P].

陈照峰 ;

王飞 .

中国专利 :CN105239356A ,2016-01-13

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