一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410857244.1

申请日：

2014-12-30

公开(公告)号：

CN104559800A

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

刘卫丽侯蕾

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

梁海莲

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/304 申请公布日:20150429
2015-04-29	公开	公开
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611411603 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2014108572441 申请日:20141230

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN104592896A ,2015-05-06

[2]

一种氧化铝基化学机械抛光液 [P].

李沙沙 ;

刘卫丽 ;

宋志棠 .

中国专利 :CN104559798A ,2015-04-29

[3]

一种氧化铝基化学机械抛光液 [P].

吕志敏 .

中国专利 :CN109749631A ,2019-05-14

[4]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[5]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[6]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

宋伟红 ;

姚颖 .

中国专利 :CN102115633A ,2011-07-06

[8]

一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802A ,2021-06-22

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

李星 ;

王晨 ;

何华锋 ;

郁夏盈 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113122140A ,2021-07-16

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