一种去除硅片油污的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910608069.5
申请日
2019-07-08
公开(公告)号
CN110416064A
公开(公告)日
2019-11-05
发明(设计)人
樊选胜 宛正 缪云展 曹磊
申请人
申请人地址
224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号
IPC主分类号
H01L2102
IPC分类号
H01L3118 H01L2167
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
董建林
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[41]
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[50]
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