一种去除硅片油污的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910608069.5

申请日：

2019-07-08

公开(公告)号：

CN110416064A

公开(公告)日：

2019-11-05

发明(设计)人：

樊选胜宛正缪云展曹磊

申请人：

申请人地址：

224400 江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3118 H01L2167

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	公开	公开
2021-07-16	授权	授权
2019-11-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190708

共 50 条

[21]

一种硅片制绒方法 [P].

郑兰花 ;

李国民 ;

卢海江 ;

程四兴 .

中国专利 :CN103904157A ,2014-07-02

[22]

一种去除硅片背面氮化硅的方法 [P].

周贯宇 .

中国专利 :CN1964000A ,2007-05-16

[23]

一种用于去除硅片光刻胶的方法 [P].

李德鹏 ;

程文娟 ;

徐海涛 ;

李中亮 ;

张光展 ;

王民 .

中国专利 :CN118331003A ,2024-07-12

[24]

硅片的清洗方法 [P].

钱明明 ;

徐建 ;

贾泰 ;

彭彪 .

中国专利 :CN107706087B ,2018-02-16

[25]

一种去除硅片砂浆的喷淋装置 [P].

张红光 ;

赵兵 ;

李绍 ;

王海林 ;

任运鸿 ;

刘猛 ;

张建东 ;

张建超 .

中国专利 :CN204471627U ,2015-07-15

[26]

一种激光打孔后硅片的处理方法 [P].

朱冉庆 ;

王栩生 ;

章灵军 .

中国专利 :CN102354716A ,2012-02-15

[27]

一种丝网印刷返工硅片的处理方法 [P].

韩帅君 ;

李向前 ;

张明坤 ;

景彦娇 ;

张永伟 .

中国专利 :CN102074617B ,2011-05-25

[28]

一种多晶刻蚀前硅片的清洗方法 [P].

曾永祥 ;

方绍明 ;

王新强 ;

陈勇 ;

张立荣 .

中国专利 :CN102102207A ,2011-06-22

[29]

一种金刚线切割硅片的清洗方法 [P].

李毕武 ;

唐传兵 ;

刘振淮 ;

黄振飞 .

中国专利 :CN102225406B ,2011-10-26

[30]

一种单晶硅片的预清洗方法 [P].

刘万学 ;

程明辉 ;

刘志坚 ;

侯丽艳 ;

强艳建 ;

韩丽 ;

侯文会 .

中国专利 :CN102719896A ,2012-10-10

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