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气体喷淋头的清洗方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201911166034.7
申请日
:
2019-11-25
公开(公告)号
:
CN112831793A
公开(公告)日
:
2021-05-25
发明(设计)人
:
姜勇
王家毅
申请人
:
申请人地址
:
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
IPC主分类号
:
C23G119
IPC分类号
:
C23G108
C23C2273
C23G124
代理机构
:
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人
:
徐雯琼;张静洁
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-05-25
公开
公开
2021-06-11
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C23G 1/19 申请日:20191125
共 50 条
[1]
喷淋头的清洗方法
[P].
叶芷飞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
叶芷飞
.
中国专利
:CN103071647A
,2013-05-01
[2]
一种气体喷淋头及制作该气体喷淋头的方法
[P].
彭帆
论文数:
0
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0
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0
彭帆
;
徐朝阳
论文数:
0
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0
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0
徐朝阳
;
贺小明
论文数:
0
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0
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0
贺小明
;
左涛涛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
左涛涛
.
中国专利
:CN103789747A
,2014-05-14
[3]
喷淋头清洗装置
[P].
叶芷飞
论文数:
0
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0
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0
叶芷飞
;
梁秉文
论文数:
0
引用数:
0
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0
梁秉文
.
中国专利
:CN103028560A
,2013-04-10
[4]
喷淋头清洗装置
[P].
叶芷飞
论文数:
0
引用数:
0
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0
叶芷飞
;
梁秉文
论文数:
0
引用数:
0
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0
梁秉文
.
中国专利
:CN202224377U
,2012-05-23
[5]
喷淋头清洗装置
[P].
刘晨
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡金源半导体科技有限公司
无锡金源半导体科技有限公司
刘晨
;
李镐赞
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
无锡金源半导体科技有限公司
无锡金源半导体科技有限公司
李镐赞
.
中国专利
:CN118788663A
,2024-10-18
[6]
喷淋头
[P].
菅原博胜
论文数:
0
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0
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0
机构:
花王株式会社
花王株式会社
菅原博胜
;
小林辽
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0
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0
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0
机构:
花王株式会社
花王株式会社
小林辽
.
日本专利
:CN223587396U
,2025-11-25
[7]
气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置
[P].
倪图强
论文数:
0
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0
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0
倪图强
;
徐朝阳
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0
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0
徐朝阳
;
江家玮
论文数:
0
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0
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0
江家玮
.
中国专利
:CN111785604A
,2020-10-16
[8]
气体喷淋头、制作方法及包括气体喷淋头的等离子体装置
[P].
倪图强
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
倪图强
;
徐朝阳
论文数:
0
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0
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0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
徐朝阳
;
江家玮
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
江家玮
.
中国专利
:CN111785604B
,2025-04-08
[9]
气体喷淋头及包括该气体喷淋头的等离子体装置
[P].
倪图强
论文数:
0
引用数:
0
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0
倪图强
;
徐朝阳
论文数:
0
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0
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0
徐朝阳
;
江家玮
论文数:
0
引用数:
0
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0
江家玮
.
中国专利
:CN209471923U
,2019-10-08
[10]
气体喷淋头及其制作方法
[P].
徐朝阳
论文数:
0
引用数:
0
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0
徐朝阳
;
杨金全
论文数:
0
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0
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0
杨金全
.
中国专利
:CN106328471A
,2017-01-11
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