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气体喷淋头及包括该气体喷淋头的等离子体装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920450934.3
申请日：
2019-04-04
公开(公告)号：
CN209471923U
公开(公告)日：
2019-10-08
发明(设计)人：
倪图强
徐朝阳
江家玮
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-08 | 授权 | 授权 |