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一种半导体制造用机械手臂
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020196288.5
申请日：
2020-02-23
公开(公告)号：
CN212635718U
公开(公告)日：
2021-03-02
发明(设计)人：
仝立娟
张照杰
申请人：
申请人地址：
050011 河北省石家庄市中山东路322号开元大厦24楼
IPC主分类号：
B25J500
IPC分类号：
B25J1900
B25J910
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-02 | 授权 | 授权 |