一种机械手臂及半导体制造设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421738618.3

申请日：

2024-07-22

公开(公告)号：

CN222792107U

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

张一帆

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

B25J18/00

IPC分类号：

B25J19/06

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

汤陈龙

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体制造用的机械手臂 [P].

王鑫 .

中国专利 :CN213054822U ,2021-04-27

[2]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

仝立娟 ;

张照杰 .

中国专利 :CN212635718U ,2021-03-02

[3]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

张乔栋 ;

陈业 ;

刘少丽 ;

杨雅婷 ;

王倩 .

中国专利 :CN207326983U ,2018-05-08

[4]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

伯海狞 .

中国专利 :CN212919410U ,2021-04-09

[5]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

崔雨楠 .

中国专利 :CN216566457U ,2022-05-20

[6]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

刘宏 .

中国专利 :CN217414070U ,2022-09-13

[7]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

刘金海 .

中国专利 :CN112548991A ,2021-03-26

[8]

一种半导体制造用机械手臂 [P].

刘金章 ;

杨欣泽 .

中国专利 :CN208629451U ,2019-03-22

[9]

一种半导体制造用的机械手臂 [P].

徐玉龙 .

中国专利 :CN210704794U ,2020-06-09

[10]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

李华 .

中国专利 :CN111952139A ,2020-11-17

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