用于定位掩模的方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610066680.2

申请日：

2006-04-19

公开(公告)号：

CN1854909A

公开(公告)日：

2006-11-01

发明(设计)人：

迪特尔·曼茨

申请人：

申请人地址：

德国阿尔策瑙

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720 H01L5150

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

徐年康

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-11-01	公开	公开
2010-01-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

用于对准掩模段的对准装置和方法 [P].

T·K·克拉克 .

中国专利 :CN1279629C ,2003-06-18

[2]

用于定位的装置和方法 [P].

O-E·巴尔布 ;

D·米哈洛普洛斯 ;

I·Z·科瓦奇 ;

P·凯沙瓦穆尔蒂 .

:CN120677402A ,2025-09-19

[3]

用于定位的装置和方法 [P].

M·塞利 ;

J·O·塔尔维蒂耶 ;

M·瓦尔卡玛 ;

R·莫拉莱斯·费雷 .

:CN120435826A ,2025-08-05

[4]

用于通过无接触式光学法定位光刻掩模的装置和方法 [P].

吉莱斯·弗莱斯阔特 ;

格纳尔·瑞贝特 .

中国专利 :CN105829971B ,2016-08-03

[5]

掩模检查装置和方法 [P].

P·迪尔克森 ;

T·斯蒂芬 .

中国专利 :CN1918513B ,2007-02-21

[6]

掩模检查装置和方法、以及包括该方法的制造掩模的方法 [P].

宋弦昔 ;

姜仁勇 ;

张日容 .

中国专利 :CN111176068A ,2020-05-19

[7]

用于提纯有机电致发光材料的装置和方法 [P].

沈洪植 ;

张珉植 ;

卞基男 ;

朴商勳 ;

孙宗勳 ;

金亨谟 .

中国专利 :CN1714061A ,2005-12-28

[8]

掩模检查装置和方法、以及包括该方法的制造掩模的方法 [P].

宋弦昔 ;

姜仁勇 ;

张日容 .

韩国专利 :CN111176068B ,2024-07-09

[9]

用于定位套管的装置和方法 [P].

姜忠仁 ;

魏云翔 ;

赵艳玲 ;

李强 ;

李广坤 .

中国专利 :CN102101318A ,2011-06-22

[10]

用于定位工件的方法和装置 [P].

马修·L·福尼 .

中国专利 :CN102470948B ,2012-05-23

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