掩模检查装置和方法、以及包括该方法的制造掩模的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910988185.4

申请日：

2019-10-17

公开(公告)号：

CN111176068A

公开(公告)日：

2020-05-19

发明(设计)人：

宋弦昔姜仁勇张日容

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G03F184

IPC分类号：

G03F186

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

梁栋国

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-19	公开	公开
2021-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/84 申请日:20191017

共 50 条

[1]

掩模检查装置和方法、以及包括该方法的制造掩模的方法 [P].

宋弦昔 ;

姜仁勇 ;

张日容 .

韩国专利 :CN111176068B ,2024-07-09

[2]

图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法 [P].

尾崎太一 .

中国专利 :CN112578631A ,2021-03-30

[3]

图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法 [P].

尾崎太一 .

日本专利 :CN112578631B ,2025-06-20

[4]

光掩模的制造方法、检查方法和检查装置 [P].

剑持大介 .

中国专利 :CN110058488A ,2019-07-26

[5]

测量EUV掩模的相位的装置和方法及制造掩模的方法 [P].

朴钟主 ;

李来源 ;

韩学承 ;

金成洙 .

中国专利 :CN113494966A ,2021-10-12

[6]

掩模检查装置和方法 [P].

P·迪尔克森 ;

T·斯蒂芬 .

中国专利 :CN1918513B ,2007-02-21

[7]

波纹缺陷检查掩模、波纹缺陷检查装置及方法、以及光掩模的制造方法 [P].

村井诚 .

中国专利 :CN1702429A ,2005-11-30

[8]

光掩模检查方法、光掩模制造方法及光掩模检查装置 [P].

剑持大介 .

中国专利 :CN109307980A ,2019-02-05

[9]

丝网掩模检查装置、焊料印刷检查装置以及丝网掩模的检查方法 [P].

菊池和义 ;

新山孝幸 ;

大山刚 ;

坂井田宪彦 .

日本专利 :CN115210078B ,2024-10-11

[10]

不均缺陷检查装置和方法及光掩模的制造方法 [P].

田中淳一 .

中国专利 :CN100454511C ,2006-06-14

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