罩固定工具及电感耦合等离子处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110040254.2

申请日：

2011-02-15

公开(公告)号：

CN102196654A

公开(公告)日：

2011-09-21

发明(设计)人：

笠原稔大

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李伟;舒艳君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-20	授权	授权
2011-09-21	公开	公开
2011-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101141113608 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2011100402542 申请日:20110215

共 50 条

[1]

电感耦合等离子处理装置的罩固定装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

天野健次 .

中国专利 :CN103533739B ,2014-01-22

[2]

电感耦合等离子处理装置的罩固定器具和罩固定装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

天野健次 .

中国专利 :CN101848596B ,2010-09-29

[3]

电感耦合等离子处理装置 [P].

吴守镐 .

中国专利 :CN105451426A ,2016-03-30

[4]

电感耦合等离子用天线单元以及电感耦合等离子处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN102821534B ,2012-12-12

[5]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

连增迪 ;

刘季霖 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN108271309A ,2018-07-10

[6]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

倪图强 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN106686875A ,2017-05-17

[7]

一种电感耦合等离子处理设备及电感耦合线圈组件 [P].

唐观扬 ;

杨宽 ;

左涛涛 ;

倪图强 ;

刘身健 .

中国专利 :CN117457463A ,2024-01-26

[8]

电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

斋藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101076220B ,2007-11-21

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

崔智淑 ;

李昌根 .

中国专利 :CN103917037B ,2014-07-09

[10]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

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