电感耦合等离子处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510589966.8

申请日：

2015-09-16

公开(公告)号：

CN105451426A

公开(公告)日：

2016-03-30

发明(设计)人：

吴守镐

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384

代理人：

郑青松

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737672092 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2015105899668 登记生效日:20160801 变更事项:申请人变更前权利人:圆益控股股份有限公司变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞) 变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2016-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101664278617 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2015105899668 申请日:20150916
2016-03-30	公开	公开
2018-11-23	授权	授权
2016-08-24	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101737672091 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2015105899668 变更事项:申请人变更前:圆益IPS股份有限公司变更后:圆益控股股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞)

共 50 条

[1]

电感耦合等离子用天线单元以及电感耦合等离子处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN102821534B ,2012-12-12

[2]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

连增迪 ;

刘季霖 ;

吴狄 ;

黄允文 .

中国专利 :CN108271309A ,2018-07-10

[3]

一种电感耦合等离子处理装置 [P].

倪图强 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN106686875A ,2017-05-17

[4]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

崔智淑 ;

李昌根 .

中国专利 :CN103917037B ,2014-07-09

[5]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李炅锡 ;

丘炳熙 ;

金正泰 ;

孙东植 ;

李庆汉 ;

林正焕 ;

崔智淑 .

中国专利 :CN103917036A ,2014-07-09

[6]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

东条利洋 .

中国专利 :CN102751156A ,2012-10-24

[7]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 ;

里吉务 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103996595A ,2014-08-20

[8]

罩固定工具及电感耦合等离子处理装置 [P].

笠原稔大 .

中国专利 :CN102196654A ,2011-09-21

[9]

电感耦合等离子处理装置的罩固定装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

天野健次 .

中国专利 :CN103533739B ,2014-01-22

[10]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

里吉务 ;

山泽阳平 ;

古屋敦城 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103811262B ,2014-05-21

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