一种广义椭偏仪的同步控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310089535.6

申请日：

2013-03-20

公开(公告)号：

CN103217988A

公开(公告)日：

2013-07-24

发明(设计)人：

刘世元杜卫超张传维陈修国陈锦谷洪刚

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G05D312

IPC分类号：

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

曹葆青

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-24	公开	公开
2013-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101509128570 IPC(主分类):G05D 3/12 专利申请号:2013100895356 申请日:20130320
2018-02-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G05D 3/12 登记生效日:20180130 变更事项:专利权人变更前权利人:华中科技大学变更后权利人:武汉颐光科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号变更后权利人:430075 湖北省武汉市高新大道999号未来科技城G区C2座206室
2015-07-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法 [P].

刘世元 ;

李苏斌 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

杜卫超 .

中国专利 :CN104344891A ,2015-02-11

[2]

主从电机系统、同步控制方法、椭偏仪系统及存储介质 [P].

戴依熳 ;

朱均岭 ;

全鹏飞 ;

庄源 .

中国专利 :CN120049766A ,2025-05-27

[3]

一种椭偏仪以及基于该椭偏仪的检测方法 [P].

修鹏 ;

徐文斌 ;

陈伟力 ;

郑崇 ;

李军伟 .

中国专利 :CN109612942B ,2019-04-12

[4]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[5]

一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪 [P].

薛鹏 ;

谢大洋 ;

张瑞 ;

刘政杰 ;

李孟委 .

中国专利 :CN114894311B ,2025-02-07

[6]

一种宽光谱双变入射角系统广义椭偏仪 [P].

薛鹏 ;

谢大洋 ;

张瑞 ;

刘政杰 ;

李孟委 .

中国专利 :CN114894311A ,2022-08-12

[7]

一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法 [P].

张传维 ;

史玉托 ;

李伟奇 ;

陈军 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345462B ,2021-02-09

[8]

一种激光椭偏仪 [P].

魏文文 ;

孙晨财 ;

陈呈 ;

高荣刚 ;

勾宪芳 ;

王鹏 ;

姜利凯 .

中国专利 :CN202119404U ,2012-01-18

[9]

一种椭偏仪装置 [P].

赵欢 ;

黄麟 ;

余翔 .

中国专利 :CN218331205U ,2023-01-17

[10]

一种双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统控制方法 [P].

李伟奇 ;

蒲俊鹏 ;

陈军 ;

张传维 ;

郭春付 ;

刘世元 .

中国专利 :CN111142587B ,2020-05-12

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