大面积压印光刻

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201380015762.2
申请日
2013-02-22
公开(公告)号
CN104303104A
公开(公告)日
2015-01-21
发明(设计)人
崔炳镇 S·H·安 M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 M·N·米勒 S·V·斯里尼瓦桑
申请人
申请人地址
美国得克萨斯州
IPC主分类号
G03F700
IPC分类号
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
宋静娴
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
大面积压印光刻 [P]. 
崔炳镇 ;
S·H·安 ;
M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 ;
M·N·米勒 ;
S·V·斯里尼瓦桑 .
中国专利 :CN109407463B ,2019-03-01
[2]
一种大面积TFT光刻装置 [P]. 
周金运 ;
王新星 ;
雷亮 ;
林清华 ;
裴文彦 .
中国专利 :CN202306140U ,2012-07-04
[3]
一种大面积TFT光刻装置及其光刻方法 [P]. 
周金运 ;
王新星 ;
雷亮 ;
林清华 ;
裴文彦 .
中国专利 :CN102368138A ,2012-03-07
[4]
一种大面积纳米结构紫外接触式光刻方法 [P]. 
段辉高 ;
陈雷 ;
周宇 ;
樊夫 ;
胡跃强 ;
贾红辉 .
中国专利 :CN119002184A ,2024-11-22
[5]
一种基于SPP的大面积干涉光刻技术 [P]. 
郭小伟 ;
刘永智 ;
于全福 .
中国专利 :CN101963761A ,2011-02-02
[6]
大面积柔性光电器件 [P]. 
李沅民 ;
单洪青 ;
李晓常 ;
施成营 ;
林朝晖 .
中国专利 :CN102201534A ,2011-09-28
[7]
基于扫描原子光刻技术的大面积自溯源光栅制备方法 [P]. 
邓晓 ;
程鑫彬 ;
谭文 ;
唐朝辉 ;
林子超 ;
李同保 .
中国专利 :CN113777685A ,2021-12-10
[8]
大面积柔性导电薄膜的制备方法 [P]. 
兰伟 ;
朱承泉 ;
李育仁 ;
苏庆 ;
谢二庆 .
中国专利 :CN102496421A ,2012-06-13
[9]
大面积柔性光电器件的制造方法 [P]. 
李沅民 ;
施成营 ;
林朝晖 .
中国专利 :CN101980393A ,2011-02-23
[10]
大面积柔性薄膜太阳能电池 [P]. 
李沅民 ;
施成营 ;
张超华 ;
连重炎 .
中国专利 :CN102176478A ,2011-09-07