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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-04-01 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713137465 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2013800157622 变更事项:申请人 变更前权利人:佳能纳米技术公司 变更后权利人:分子制模股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国得克萨斯州 变更后权利人:美国得克萨斯州 变更事项:申请人 变更前权利人:分子制模股份有限公司 变更后权利人:无 登记生效日:20150310 |
| 2015-01-21 | 公开 | 公开 |
| 2019-02-01 | 授权 | 授权 |
| 2015-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602140541 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2013800157622 申请日:20130222 |