一种大面积TFT光刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120399294.1

申请日：

2011-10-19

公开(公告)号：

CN202306140U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

周金运王新星雷亮林清华裴文彦

申请人：

申请人地址：

510006 广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B2709 G02B1322 G02B1306

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

林丽明

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101691181118 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011203992941 申请日:20111019 授权公告日:20120704 终止日期:20151019
2013-06-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101605007977 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011203992941 变更事项:专利权人变更前权利人:广东工业大学变更后权利人:广东高聚激光有限公司变更事项:地址变更前权利人:510006 广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号变更后权利人:528000 广东省佛山市高新区狮山核心园区登记生效日:20130513
2012-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大面积TFT光刻装置及其光刻方法 [P].

周金运 ;

王新星 ;

雷亮 ;

林清华 ;

裴文彦 .

中国专利 :CN102368138A ,2012-03-07

[2]

一种大面积数字光刻光学系统 [P].

刘海勇 ;

周金运 ;

刘丽霞 ;

雷亮 .

中国专利 :CN104142613A ,2014-11-12

[3]

一种大面积投影光刻系统 [P].

雷亮 ;

周金运 ;

陈丽 ;

魏威 ;

江文龙 .

中国专利 :CN202133858U ,2012-02-01

[4]

大面积压印光刻 [P].

崔炳镇 ;

S·H·安 ;

M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 ;

M·N·米勒 ;

S·V·斯里尼瓦桑 .

中国专利 :CN109407463B ,2019-03-01

[5]

大面积压印光刻 [P].

崔炳镇 ;

S·H·安 ;

M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 ;

M·N·米勒 ;

S·V·斯里尼瓦桑 .

中国专利 :CN104303104A ,2015-01-21

[6]

一种大面积投影光刻系统 [P].

韩太林 ;

王英志 ;

刘红 ;

胡俊 ;

陈玉群 ;

宫玉琳 ;

郎百和 ;

刘迪 .

中国专利 :CN208283721U ,2018-12-25

[7]

大面积纳米光刻系统及其方法 [P].

浦东林 ;

陈林森 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 .

中国专利 :CN111427237B ,2020-07-17

[8]

大面积印刷装置 [P].

沈凯翔 ;

季金平 ;

杨辉 .

中国专利 :CN209191461U ,2019-08-02

[9]

大面积成型装置 [P].

郑荣和 ;

李衍衡 ;

郑东衍 .

中国专利 :CN214360983U ,2021-10-08

[10]

大面积搅拌装置 [P].

万新卫 .

中国专利 :CN214973326U ,2021-12-03

← 1 2 3 4 5 →