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靶材溅射装置及其成膜装置

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020180266.X
申请日：
2020-02-18
公开(公告)号：
CN211522309U
公开(公告)日：
2020-09-18
发明(设计)人：
长江亦周 菅原卓也 宫内充祐 山本摄也
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1435
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
周达
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-09-18 授权 授权
共 50 条
[1]
靶材溅射装置 [P]. 
秦文 .
中国专利 :CN110468380A ,2019-11-19
[2]
靶材溅射装置 [P]. 
温艳玲 ;
焦晓希 ;
张学智 .
中国专利 :CN212955323U ,2021-04-13
[3]
一种靶材溅射装置及其溅射靶材的方法 [P]. 
魏钰 .
中国专利 :CN105112871A ,2015-12-02
[4]
一种靶材成膜装置 [P]. 
李喜峰 ;
杨世博 ;
袁雁妤 ;
于正航 .
中国专利 :CN110747441A ,2020-02-04
[5]
靶材溅射镀膜装置及其使用方法 [P]. 
杨海成 .
中国专利 :CN112962073A ,2021-06-15
[6]
一种靶材溅射装置 [P]. 
温质康 ;
乔小平 ;
苏智昱 .
中国专利 :CN215103503U ,2021-12-10
[7]
一种靶材溅射装置 [P]. 
魏钰 .
中国专利 :CN204939603U ,2016-01-06
[8]
成膜装置及靶装置 [P]. 
岩田宽 .
中国专利 :CN102965627A ,2013-03-13
[9]
靶及成膜装置 [P]. 
鸟居博典 .
日本专利 :CN116194614B ,2024-12-10
[10]
成膜方法和溅射装置 [P]. 
中村真也 ;
逸见充则 ;
藤井佳词 .
中国专利 :CN109154076B ,2019-01-04
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