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靶材溅射镀膜装置及其使用方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110147298.9
申请日：
2021-02-03
公开(公告)号：
CN112962073A
公开(公告)日：
2021-06-15
发明(设计)人：
杨海成
申请人：
申请人地址：
523000 广东省东莞市长安镇乌沙社区第六工业区海滨路7号4楼
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260
代理人：
李凤娇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-15 | 公开 | 公开 |