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硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200410066674.8
申请日：
2004-09-24
公开(公告)号：
CN1616572A
公开(公告)日：
2005-05-18
发明(设计)人：
张楷亮
宋志棠
刘波
刘卫丽
封松林
陈邦明
申请人：
申请人地址：
200050上海市长宁区长宁路865号
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
上海智信专利代理有限公司
代理人：
潘振甦
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-15 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20181227 变更事项:专利权人 变更前权利人:上海新安纳电子科技有限公司 变更后权利人:太原逸峰源科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号 变更后权利人:030100 山西省太原市阳曲县黄寨镇大屯庄村、小屯庄村 |
| 2005-05-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-09-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20040924 授权公告日:20070214 终止日期:20210924 |
| 2007-02-14 | 授权 | 授权 |
| 2012-06-20 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101383729916 IPC(主分类):C09G 1/02 专利号:ZL2004100666748 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 变更后权利人:上海新安纳电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:200050 上海市长宁区长宁路865号 变更后权利人:201506 上海市金山工业区天工路285弄6号 登记生效日:20120514 |
| 2021-04-13 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):C09G 1/02 登记生效日:20210331 变更事项:专利权人 变更前权利人:太原逸峰源科技有限公司 变更后权利人:杭州余杭尖峰实业有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:030100 山西省太原市阳曲县黄寨镇大屯庄村、小屯庄村 变更后权利人:311106 浙江省杭州市余杭区塘栖镇姚家埭村 |
| 2005-07-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |