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相关光学和带电粒子显微镜
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201510040069.1
申请日
:
2015-01-27
公开(公告)号
:
CN104810230B
公开(公告)日
:
2015-07-29
发明(设计)人
:
B.布伊斯塞
申请人
:
申请人地址
:
美国俄勒冈州
IPC主分类号
:
H01J3722
IPC分类号
:
H01J3726
代理机构
:
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
:
王岳;姜甜
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2015-07-29
公开
公开
2017-03-08
授权
授权
2016-04-20
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101656896903 IPC(主分类):H01J 37/22 专利申请号:2015100400691 申请日:20150127
共 50 条
[1]
带电粒子线显微镜以及该带电粒子显微镜的控制方法
[P].
千野肇
论文数:
0
引用数:
0
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0
千野肇
;
绵引胜
论文数:
0
引用数:
0
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0
绵引胜
;
岩谷彻
论文数:
0
引用数:
0
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0
岩谷彻
.
中国专利
:CN102668014A
,2012-09-12
[2]
显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法
[P].
S·比恩
论文数:
0
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0
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0
S·比恩
;
R·罗兰
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0
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0
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0
R·罗兰
;
S·希斯
论文数:
0
引用数:
0
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0
S·希斯
.
中国专利
:CN102543638B
,2012-07-04
[3]
扫描带电粒子显微镜图像的高画质化方法和扫描带电粒子显微镜装置
[P].
中平健治
论文数:
0
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0
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0
中平健治
;
田中麻纪
论文数:
0
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0
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0
田中麻纪
.
中国专利
:CN105981129A
,2016-09-28
[4]
具有带电粒子检测器的带电粒子显微镜
[P].
E·弗兰肯
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0
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0
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机构:
FEI公司
FEI公司
E·弗兰肯
;
T·瓦斯洛特
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机构:
FEI公司
FEI公司
T·瓦斯洛特
;
B·詹森
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0
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0
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0
机构:
FEI公司
FEI公司
B·詹森
.
美国专利
:CN120809561A
,2025-10-17
[5]
用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法
[P].
L.图玛
论文数:
0
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0
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0
机构:
FEI公司
FEI公司
L.图玛
.
美国专利
:CN111243928B
,2025-07-29
[6]
用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法
[P].
L.图玛
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0
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0
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0
L.图玛
.
中国专利
:CN111243928A
,2020-06-05
[7]
用于校准扫描带电粒子显微镜的方法
[P].
H·A·迪伦
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0
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0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·A·迪伦
;
W·T·特尔
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
W·T·特尔
;
W·L·范迈罗
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
W·L·范迈罗
.
:CN113228222B
,2024-12-31
[8]
用于校准扫描带电粒子显微镜的方法
[P].
H·A·迪伦
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0
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H·A·迪伦
;
W·T·特尔
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W·T·特尔
;
W·L·范迈罗
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0
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W·L·范迈罗
.
中国专利
:CN113228222A
,2021-08-06
[9]
用于带电粒子显微镜的方法及系统
[P].
D·马斯纳盖蒂
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D·马斯纳盖蒂
;
G·托特
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0
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G·托特
;
D·特雷斯
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0
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D·特雷斯
;
R·博特罗
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0
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R·博特罗
;
G·H·陈
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G·H·陈
;
R·克尼彭迈耶
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R·克尼彭迈耶
.
中国专利
:CN111261481B
,2020-06-09
[10]
用于带电粒子显微镜的保护快门
[P].
P·布伦达奇
论文数:
0
引用数:
0
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0
P·布伦达奇
.
中国专利
:CN115579271A
,2023-01-06
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