多线切硅片脱胶清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820011975.8

申请日：

2018-01-04

公开(公告)号：

CN207952094U

公开(公告)日：

2018-10-12

发明(设计)人：

万喜增蒋委达郑元奎

申请人：

申请人地址：

313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

韩燕燕;连围

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多线切硅片脱胶超声清洗装置 [P].

万喜增 ;

蒋委达 ;

郑元奎 .

中国专利 :CN207952128U ,2018-10-12

[2]

一种脱胶前单晶硅片的清洗装置 [P].

陈吉祥 ;

李竞宇 ;

张建国 .

中国专利 :CN203648897U ,2014-06-18

[3]

一种多线切硅片脱胶篮 [P].

黄业志 ;

梁兴勃 ;

沈海潮 ;

李琴 .

中国专利 :CN218039129U ,2022-12-13

[4]

金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

尹辰 ;

李淑丽 ;

赵可武 ;

张骏凯 ;

高攀红 ;

左亚莲 .

中国专利 :CN203002693U ,2013-06-19

[5]

一种金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置 [P].

邹文龙 ;

张力峰 .

中国专利 :CN215997737U ,2022-03-11

[6]

多线锯切割后硅片脱胶保护装置 [P].

童立峰 .

中国专利 :CN201350670Y ,2009-11-25

[7]

硅片清洗脱胶夹具 [P].

杨风彦 .

中国专利 :CN201302990Y ,2009-09-02

[8]

硅片清洗脱胶夹具 [P].

郑军锋 ;

申朝锋 .

中国专利 :CN202762707U ,2013-03-06

[9]

一种硅片脱胶清洗设备 [P].

方勇华 ;

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方萌 .

中国专利 :CN214348484U ,2021-10-08

[10]

硅片脱胶架及脱胶清洗机 [P].

王攀 ;

蒋伟 ;

陈贵平 ;

周迅来 ;

尹德斌 ;

张伟建 ;

王海波 .

中国专利 :CN222705494U ,2025-04-01

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