一种整片晶圆纳米压印光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110266251.0

申请日：

2011-09-08

公开(公告)号：

CN102346369A

公开(公告)日：

2012-02-08

发明(设计)人：

兰红波丁玉成

申请人：

申请人地址：

266033 山东省青岛市四方区抚顺路11号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司 37221

代理人：

张勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101208129217 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2011102662510 申请日:20110908
2012-02-08	公开	公开
2013-04-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN202205025U ,2012-04-25

[2]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

孙立 ;

胡金鑫 ;

刘晖 .

中国专利 :CN214704303U ,2021-11-12

[3]

整片晶圆纳米压印的装置 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN201926865U ,2011-08-10

[4]

整片晶圆纳米压印的装置和方法 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN102096315B ,2011-06-15

[5]

纳米压印光刻机 [P].

康晓辉 ;

范东升 .

中国专利 :CN2783376Y ,2006-05-24

[6]

一种纳米压印光刻机 [P].

姜骥 ;

谢常青 ;

岑专专 ;

商立伟 ;

刘兴华 ;

刘明 .

中国专利 :CN101452207A ,2009-06-10

[7]

一种纳米压印光刻机 [P].

陈杰相 .

中国专利 :CN215376079U ,2021-12-31

[8]

一种纳米压印光刻机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN215297936U ,2021-12-24

[9]

一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN102269930A ,2011-12-07

[10]

一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN202210213U ,2012-05-02

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