纳米压印光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200420118110.X

申请日：

2004-11-09

公开(公告)号：

CN2783376Y

公开(公告)日：

2006-05-24

发明(设计)人：

康晓辉范东升

申请人：

申请人地址：

100029北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

周国城

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-05-24	授权	授权
2008-01-09	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

一种新型纳米压印光刻机 [P].

孙立 ;

胡金鑫 ;

刘晖 .

中国专利 :CN214704307U ,2021-11-12

[2]

一种纳米压印光刻机 [P].

陈杰相 .

中国专利 :CN215376079U ,2021-12-31

[3]

一种纳米压印光刻机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN215297936U ,2021-12-24

[4]

一种纳米压印光刻机 [P].

姜骥 ;

谢常青 ;

岑专专 ;

商立伟 ;

刘兴华 ;

刘明 .

中国专利 :CN101452207A ,2009-06-10

[5]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

孙立 ;

胡金鑫 ;

刘晖 .

中国专利 :CN214704303U ,2021-11-12

[6]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN202205025U ,2012-04-25

[7]

一种整片晶圆纳米压印光刻机 [P].

兰红波 ;

丁玉成 .

中国专利 :CN102346369A ,2012-02-08

[8]

一种校正压印光刻机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN215181394U ,2021-12-14

[9]

一种复合纳米压印光刻机及工作方法 [P].

兰红波 ;

郭良乐 .

中国专利 :CN106918987B ,2017-07-04

[10]

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN211123620U ,2020-07-28

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