沟槽隔离结构及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110087255.2

申请日：

2011-04-08

公开(公告)号：

CN102184885A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

永福

申请人：

申请人地址：

200233 上海市虹漕路385号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

H01L2906

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈亮

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101700683387 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011100872552 申请公布日:20110914
2011-09-14	公开	公开
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127316370 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011100872552 申请日:20110408

共 50 条

[1]

沟槽隔离结构及其制作方法 [P].

周鸣 ;

平延磊 .

中国专利 :CN103681445A ,2014-03-26

[2]

浅沟槽隔离结构及其制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN107994016A ,2018-05-04

[3]

浅沟槽隔离结构及其制作方法 [P].

何永根 .

中国专利 :CN102122628B ,2011-07-13

[4]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

韦庆松 ;

彭树根 .

中国专利 :CN102456607A ,2012-05-16

[5]

深沟槽隔离结构及其制作方法 [P].

雷敏 ;

廖黎明 ;

范永 ;

仇峰 .

中国专利 :CN118610156A ,2024-09-06

[6]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103199052A ,2013-07-10

[7]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

何永根 ;

陈勇 .

中国专利 :CN102122630A ,2011-07-13

[8]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

禹国宾 .

中国专利 :CN102487034A ,2012-06-06

[9]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

王津洲 ;

高大为 .

中国专利 :CN101728308A ,2010-06-09

[10]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102097356B ,2011-06-15

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