沟槽-栅极半导体器件的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200380105867.3
申请日
2003-12-08
公开(公告)号
CN1726585A
公开(公告)日
2006-01-25
发明(设计)人
E·A·希泽恩 R·J·E·休廷格 M·A·A·恩特赞特
申请人
申请人地址
荷兰艾恩德霍芬
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L2978 H01L29423
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
吴立明;梁永
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[1]
沟槽-栅极半导体器件的制造 [P]. 
M·A·A·因特赞德特 ;
E·A·希岑 .
中国专利 :CN1726587A ,2006-01-25
[2]
沟槽栅极半导体器件 [P]. 
史蒂文·皮克 ;
菲尔·鲁特 .
中国专利 :CN114823877A ,2022-07-29
[3]
栅极沟槽以及半导体器件的制造方法 [P]. 
韩秋华 ;
黄敬勇 ;
鲍俊波 ;
张翼英 .
中国专利 :CN102376576A ,2012-03-14
[4]
屏蔽栅极沟槽半导体结构与屏蔽栅极沟槽半导体器件 [P]. 
刘坚 .
中国专利 :CN113889536B ,2025-01-24
[5]
屏蔽栅极沟槽半导体结构与屏蔽栅极沟槽半导体器件 [P]. 
刘坚 .
中国专利 :CN113889536A ,2022-01-04
[6]
具有沟槽栅极结构的半导体器件及其制造方法 [P]. 
芮强 ;
邓小社 ;
孙永生 .
中国专利 :CN106328697A ,2017-01-11
[7]
半导体器件的栅极制造方法和半导体器件 [P]. 
吴汉明 ;
张海洋 ;
刘乒 ;
陈海华 .
中国专利 :CN101192526A ,2008-06-04
[8]
半导体器件的栅极制造方法和半导体器件 [P]. 
吴汉明 ;
张海洋 ;
陈海华 ;
马擎天 .
中国专利 :CN100483634C ,2008-06-04
[9]
半导体器件栅极的制造方法 [P]. 
马擎天 ;
张海洋 ;
刘乒 .
中国专利 :CN100561671C ,2008-03-12
[10]
半导体器件的栅极制造方法 [P]. 
马擎天 ;
刘乒 ;
张海洋 .
中国专利 :CN100517577C ,2008-04-02