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卤素氟化物的除去方法和卤素氟化物混合气体中含气体成分的定量分析方法、定量分析装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980081437.3
申请日：
2019-12-09
公开(公告)号：
CN113164862A
公开(公告)日：
2021-07-23
发明(设计)人：
铃木淳
松井一真
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
B01D5314
IPC分类号：
G01N3006
G01N3088
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
王潇悦;段承恩
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/14 申请日:20191209 |