用于衬底处理的静电边缘环安置系统

被引：0

申请号：

CN202180012498.1

申请日：

2021-02-03

公开(公告)号：

CN115053323A

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

亚历山大·马丘什金基思·科门丹特亚当·克里斯多夫·梅斯达雷尔·埃利希约翰·霍兰菲力克斯·莱布·科扎克维奇阿列克谢·马拉赫塔诺夫

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20210203
2022-09-13	公开	公开

共 50 条

[1]

用于衬底处理的边缘环装置 [P].

拉金德尔·德辛德萨 ;

阿列克谢·马拉赫塔诺夫 .

中国专利 :CN101730931B ,2010-06-09

[2]

衬底处理系统和用于操作衬底处理系统的方法 [P].

罗伟易 ;

洪延姬 ;

钟伟武 ;

希曼舒·乔克斯 .

美国专利 :CN112868084B ,2024-04-26

[3]

衬底处理系统的可移动边缘环 [P].

罗希妮·米什拉 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 .

中国专利 :CN114223054A ,2022-03-22

[4]

用于衬底处理系统的高精度边缘环对中 [P].

韩慧玲 ;

施萨拉曼·拉马钱德兰 ;

马克·埃斯托桂 .

中国专利 :CN115398616A ,2022-11-25

[5]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

美国专利 :CN121122994A ,2025-12-12

[6]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

美国专利 :CN121122997A ,2025-12-12

[7]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

中国专利 :CN114695062A ,2022-07-01

[8]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

中国专利 :CN114207769A ,2022-03-18

[9]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

美国专利 :CN121122996A ,2025-12-12

[10]

用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P].

克里斯托弗·金博尔 ;

赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;

萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;

汤姆·A·坎普 ;

达雷尔·埃利希 ;

安东尼·孔特雷拉斯 ;

奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .

美国专利 :CN114207769B ,2025-08-12

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