硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310672969.9

申请日：

2013-12-12

公开(公告)号：

CN103811598A

公开(公告)日：

2014-05-21

发明(设计)人：

王永进高绪敏施政李欣陈佳佳白丹

申请人：

申请人地址：

210023 江苏省南京市栖霞区亚东新城区文苑路9号

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

H01L3302 G02B6122 G02B6124 B82Y2000

代理机构：

江苏爱信律师事务所 32241

代理人：

刘琦

法律状态：

授权

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

基于硅衬底氮化物材料的悬空谐振光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102530821A ,2012-07-04

[2]

悬空图形化氧化铪衬底氮化物谐振光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102530822A ,2012-07-04

[3]

基于硅衬底氮化物的悬空谐振光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102530820A ,2012-07-04

[4]

基于硅衬底氮化物的悬空纳米光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102583215A ,2012-07-18

[5]

基于硅衬底氮化物材料的集成光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102570313A ,2012-07-11

[6]

基于SOI材料的悬空谐振光子器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102570312A ,2012-07-11

[7]

悬空氮化物薄膜LED器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

于庆龙 ;

高绪敏 ;

施政 ;

曲颖 ;

贺树敏 ;

李欣 ;

王镇海 .

中国专利 :CN103633203A ,2014-03-12

[8]

基于硅衬底氮化物的悬空HEMT器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102856369A ,2013-01-02

[9]

悬空氮化物光波导器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

高绪敏 ;

于庆龙 ;

施政 ;

贺树敏 ;

李欣 ;

巩玉先 ;

江运力 .

中国专利 :CN103630966A ,2014-03-12

[10]

基于硅衬底氮化物的悬空光波导器件及其制备方法 [P].

王永进 ;

于庆龙 ;

胡芳仁 ;

朱洪波 .

中国专利 :CN102778724A ,2012-11-14

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-23	授权	授权
2016-12-14	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101743484922 IPC(主分类):H01L 33/00 专利申请号:2013106729699 专利号:ZL2013106729699 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司发明名称:硅基氮化物材料的氧化铪悬空谐振光子器件及其制备方法申请日:20131212 申请公布日:20140521 授权公告日:20160323 许可种类:普通许可备案日期:20161114
2014-05-21	公开	公开
2018-02-09	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的注销 IPC(主分类):H01L 33/00 合同备案号:2016320000211 让与人:南京邮电大学受让人:江苏南邮物联网科技园有限公司解除日:20180116
2014-06-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583100392 IPC(主分类):H01L 33/00 专利申请号:2013106729699 申请日:20131212
2021-05-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01L 33/00 登记生效日:20210514 变更事项:专利权人变更前权利人:南京邮电大学变更后权利人:南京南邮信息产业技术研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:210023 江苏省南京市栖霞区亚东新城区文苑路9号变更后权利人:210000 江苏省南京市经济技术开发区兴智路6-3号507室