研磨方法及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811306978.5

申请日：

2018-11-05

公开(公告)号：

CN109746823B

公开(公告)日：

2019-05-14

发明(设计)人：

八木圭太佐佐木俊光

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

B24B3720 B24B3727 B24B3734

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	授权	授权
2019-05-14	公开	公开
2020-08-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20181105

共 50 条

[1]

研磨方法及研磨装置 [P].

八木圭太 ;

渡边夕贵 ;

佐佐木俊光 .

中国专利 :CN109702560A ,2019-05-03

[2]

研磨装置及研磨方法 [P].

並木计介 ;

安田穗积 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN104942699A ,2015-09-30

[3]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[4]

研磨装置及研磨方法 [P].

吉田博 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN104942698A ,2015-09-30

[5]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

中国专利 :CN112706002A ,2021-04-27

[6]

研磨方法及研磨装置 [P].

吉田博 .

中国专利 :CN108025419A ,2018-05-11

[7]

研磨装置及研磨方法 [P].

松尾尚典 ;

铃木惠友 .

日本专利 :CN114746214B ,2024-07-12

[8]

研磨装置及研磨方法 [P].

山田洋人 ;

高桥太郎 .

日本专利 :CN118629888A ,2024-09-10

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

松尾尚典 ;

铃木惠友 .

中国专利 :CN114746214A ,2022-07-12

[10]

研磨装置及研磨方法 [P].

木下将毅 ;

八木圭太 .

日本专利 :CN118254095A ,2024-06-28

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