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研磨装置及研磨方法

被引：0
申请号：
CN202080083606.X
申请日：
2020-11-30
公开(公告)号：
CN114746214A
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
松尾尚典 铃木惠友
申请人：
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
B24B4912
IPC分类号：
B24B37005 H01L21304
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-12 公开 公开
2022-07-29 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 49/12 申请日:20201130
共 50 条
[1]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
松尾尚典 ;
铃木惠友 .
日本专利 :CN114746214B ,2024-07-12
[2]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
伊东伴 ;
本岛靖之 ;
尹昇镐 ;
鱼住修司 ;
三浦骏平 ;
松尾尚典 ;
铃木宪一 .
中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08
[3]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
吉田博 ;
福岛诚 ;
安田穗积 .
中国专利 :CN104942698A ,2015-09-30
[4]
研磨方法及研磨装置 [P]. 
石井遊 ;
户川哲二 ;
吉田笃史 .
中国专利 :CN112706002A ,2021-04-27
[5]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
並木计介 ;
安田穗积 ;
锅谷治 ;
福岛诚 ;
富樫真吾 ;
山木晓 ;
矶野慎太郎 .
中国专利 :CN104942699A ,2015-09-30
[6]
研磨方法及研磨装置 [P]. 
吉田博 .
中国专利 :CN108025419A ,2018-05-11
[7]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
木下将毅 ;
八木圭太 .
日本专利 :CN118254095A ,2024-06-28
[8]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
金马利文 ;
木下将毅 ;
盐川阳一 .
中国专利 :CN109290940B ,2019-02-01
[9]
研磨装置及研磨方法 [P]. 
小佐佐和明 ;
杉森胜久 .
中国专利 :CN110948378A ,2020-04-03
[10]
研磨方法及研磨装置 [P]. 
石井遊 ;
户川哲二 ;
吉田笃史 .
日本专利 :CN112706002B ,2024-05-14
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