研磨装置及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810796740.9

申请日：

2018-07-19

公开(公告)号：

CN109290940B

公开(公告)日：

2019-02-01

发明(设计)人：

金马利文木下将毅盐川阳一

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37013

IPC分类号：

B24B3710 B24B3734 B24B5702

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/013 申请日:20180719
2019-02-01	公开	公开
2022-03-15	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨装置及研磨方法 [P].

伊东伴 ;

本岛靖之 ;

尹昇镐 ;

鱼住修司 ;

三浦骏平 ;

松尾尚典 ;

铃木宪一 .

中国专利 :CN115302398A ,2022-11-08

[2]

研磨装置及研磨方法 [P].

吉田博 ;

福岛诚 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN104942698A ,2015-09-30

[3]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

中国专利 :CN112706002A ,2021-04-27

[4]

研磨装置及研磨方法 [P].

並木计介 ;

安田穗积 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN104942699A ,2015-09-30

[5]

研磨方法及研磨装置 [P].

吉田博 .

中国专利 :CN108025419A ,2018-05-11

[6]

研磨装置及研磨方法 [P].

松尾尚典 ;

铃木惠友 .

日本专利 :CN114746214B ,2024-07-12

[7]

研磨装置及研磨方法 [P].

松尾尚典 ;

铃木惠友 .

中国专利 :CN114746214A ,2022-07-12

[8]

研磨装置及研磨方法 [P].

木下将毅 ;

八木圭太 .

日本专利 :CN118254095A ,2024-06-28

[9]

研磨装置及研磨方法 [P].

小佐佐和明 ;

杉森胜久 .

中国专利 :CN110948378A ,2020-04-03

[10]

研磨方法及研磨装置 [P].

石井遊 ;

户川哲二 ;

吉田笃史 .

日本专利 :CN112706002B ,2024-05-14

← 1 2 3 4 5 →