照明光学元件检查装置及照明光学元件检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02142127.7

申请日：

2002-08-28

公开(公告)号：

CN1215318C

公开(公告)日：

2003-03-12

发明(设计)人：

北林雅志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

G01M1100

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

马铁良;叶恺东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-08-17	授权	授权
2011-11-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101132309520 IPC(主分类):G01M 11/02 专利号:ZL021421277 申请日:20020828 授权公告日:20050817 终止日期:20100828
2003-03-12	公开	公开

共 50 条

[1]

照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 [P].

广田弘之 .

中国专利 :CN103149806A ,2013-06-12

[2]

照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 [P].

广田弘之 .

中国专利 :CN101681117A ,2010-03-24

[3]

照明光学装置、曝光装置及元件制造方法 [P].

广田弘之 .

中国专利 :CN103149807A ,2013-06-12

[4]

衍射光学元件及照明光学系统 [P].

村上亮太 ;

小野健介 ;

中山元志 .

中国专利 :CN112840238A ,2021-05-25

[5]

照明光学装置及光学装置 [P].

水泽圣幸 .

中国专利 :CN101107572A ,2008-01-16

[6]

车辆照明光学元件、车辆照明装置、车灯及车辆 [P].

祝贺 ;

李聪 ;

仇智平 ;

桑文慧 .

中国专利 :CN211694711U ,2020-10-16

[7]

照明光学系、照明装置、及び照明光学素子[ja] [P].

日本专利 :JP6370626B2 ,2018-08-08

[8]

照明光学装置 [P].

白石直正 .

中国专利 :CN101103442B ,2008-01-09

[9]

照明光学装置 [P].

J·R·德扬 ;

H·哈姆斯 .

中国专利 :CN111727511B ,2020-09-29

[10]

照明光学装置 [P].

林彻 .

中国专利 :CN100434961C ,2006-03-01

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