照明光学装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510093957.6

申请日：

2005-08-26

公开(公告)号：

CN100434961C

公开(公告)日：

2006-03-01

发明(设计)人：

林彻

申请人：

申请人地址：

日本茨城县

IPC主分类号：

G02B2608

IPC分类号：

G02B2718 G02F113 G03F720 H04N574

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨凯;刘宗杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-11-19	授权	授权
2007-08-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-03-01	公开	公开
2015-10-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631646946 IPC(主分类):G02B 26/08 专利号:ZL2005100939576 申请日:20050826 授权公告日:20081119 终止日期:20140826

共 50 条

[1]

照明光学系统、照明方法、曝光装置以及曝光方法 [P].

谷津修 ;

田中裕久 .

中国专利 :CN105606344A ,2016-05-25

[2]

照明光学装置的制造方法、照明方法、曝光方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN103488056B ,2014-01-01

[3]

照明光学系统、曝光设备、光学元件和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN102385258B ,2012-03-21

[4]

照明光学装置及光学装置 [P].

水泽圣幸 .

中国专利 :CN101107572A ,2008-01-16

[5]

照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法 [P].

田中裕久 .

中国专利 :CN101681125B ,2010-03-24

[6]

照明光学系统、曝光装置以及器件制造方法 [P].

谷津修 ;

田中裕久 .

中国专利 :CN101910817B ,2010-12-08

[7]

照明光学装置 [P].

白石直正 .

中国专利 :CN101103442B ,2008-01-09

[8]

照明光学装置 [P].

J·R·德扬 ;

H·哈姆斯 .

中国专利 :CN111727511B ,2020-09-29

[9]

光学单元、照明光学设备、曝光设备和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101765799B ,2010-06-30

[10]

照明光学装置、曝光装置和曝光方法 [P].

重松幸二 .

中国专利 :CN100536071C ,2007-07-25

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