照明光学装置的制造方法、照明方法、曝光方法和装置制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310320160.X

申请日：

2008-09-10

公开(公告)号：

CN103488056B

公开(公告)日：

2014-01-01

发明(设计)人：

谷津修

申请人：

申请人地址：

日本东京都千代田区有乐町一丁目12番1号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

陈伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101567143681 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201310320160X 申请日:20080910
2021-08-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20080910 授权公告日:20151125 终止日期:20200910
2015-11-25	授权	授权
2014-01-01	公开	公开

共 50 条

[1]

照明光学系统、曝光设备、光学元件和其制造方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101743497A ,2010-06-16

[2]

照明光学系统、曝光设备、光学元件和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN102385258B ,2012-03-21

[3]

照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN103777471B ,2014-05-07

[4]

照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN103777363B ,2014-05-07

[5]

照明光学设备、曝光设备、照明方法、曝光方法和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN103777345B ,2014-05-07

[6]

照明光学装置、曝光装置和曝光方法 [P].

重松幸二 .

中国专利 :CN100536071C ,2007-07-25

[7]

照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法 [P].

田中裕久 .

中国专利 :CN101681125B ,2010-03-24

[8]

光学单元、照明光学设备、曝光设备和装置制造方法 [P].

谷津修 .

中国专利 :CN101765799B ,2010-06-30

[9]

照明光学系统、照明方法、曝光装置以及曝光方法 [P].

谷津修 ;

田中裕久 .

中国专利 :CN105606344A ,2016-05-25

[10]

照明光学系统、曝光装置以及器件制造方法 [P].

谷津修 ;

田中裕久 .

中国专利 :CN101910817B ,2010-12-08

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