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一种高稳定性离子束抛光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710820560.5
申请日：
2017-09-13
公开(公告)号：
CN107470991B
公开(公告)日：
2017-12-15
发明(设计)人：
倪磊
倪晋
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市双流西南航空港经济开发区工业集中区（大学生创业园）
IPC主分类号：
B24B100
IPC分类号：
代理机构：
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人：
马碧娜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-15 | 公开 | 公开 |
| 2018-01-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20170913 |
| 2019-02-12 | 授权 | 授权 |