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一种磁性靶材
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201520855329.6
申请日
:
2015-10-29
公开(公告)号
:
CN205062168U
公开(公告)日
:
2016-03-02
发明(设计)人
:
张瑞丽
任瑞
申请人
:
申请人地址
:
310018 浙江省杭州市下沙经济技术开发区20号路199号
IPC主分类号
:
C23C1435
IPC分类号
:
代理机构
:
杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231
代理人
:
张宇娟
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2016-03-02
授权
授权
共 50 条
[1]
一种磁性溅射靶材
[P].
张瑞丽
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张瑞丽
;
任瑞
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任瑞
.
中国专利
:CN105603371A
,2016-05-25
[2]
一种磁性溅射靶材、靶材组件及磁控溅射方法
[P].
边逸军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
边逸军
;
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
吕燕妮
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
吕燕妮
;
钟伟华
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
钟伟华
.
中国专利
:CN120041798A
,2025-05-27
[3]
一种磁控溅射镀膜磁性靶材
[P].
周其刚
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周其刚
;
李宪民
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李宪民
;
戴慧敏
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戴慧敏
.
中国专利
:CN214782106U
,2021-11-19
[4]
一种靶材的磁性弯管机构
[P].
王俊锋
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王俊锋
;
袁明
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袁明
;
王锋
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王锋
.
中国专利
:CN212357373U
,2021-01-15
[5]
一种靶材背板及钛靶材组件
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
边逸军
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边逸军
;
王学泽
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王学泽
;
袁波
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袁波
.
中国专利
:CN212834002U
,2021-03-30
[6]
一种靶材组件
[P].
李晨光
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李晨光
.
中国专利
:CN204162776U
,2015-02-18
[7]
一种靶材组件
[P].
李晨光
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李晨光
.
中国专利
:CN204162777U
,2015-02-18
[8]
一种靶材组件
[P].
刘志杰
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刘志杰
;
于海洋
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于海洋
;
杨永刚
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杨永刚
;
王永辉
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王永辉
;
章程
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章程
;
王伟华
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王伟华
;
王绍帅
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王绍帅
;
李建强
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李建强
.
中国专利
:CN206298637U
,2017-07-04
[9]
一种靶材组件
[P].
何建进
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何建进
;
陈江伟
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陈江伟
;
何凌男
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何凌男
.
中国专利
:CN212713731U
,2021-03-16
[10]
一种平面靶材
[P].
沈登涛
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沈登涛
;
曾一鑫
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曾一鑫
.
中国专利
:CN209741264U
,2019-12-06
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