一种磁性靶材

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520855329.6
申请日
2015-10-29
公开(公告)号
CN205062168U
公开(公告)日
2016-03-02
发明(设计)人
张瑞丽 任瑞
申请人
申请人地址
310018 浙江省杭州市下沙经济技术开发区20号路199号
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231
代理人
张宇娟
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种磁性溅射靶材 [P]. 
张瑞丽 ;
任瑞 .
中国专利 :CN105603371A ,2016-05-25
[2]
一种磁性溅射靶材、靶材组件及磁控溅射方法 [P]. 
边逸军 ;
姚力军 ;
吕燕妮 ;
钟伟华 .
中国专利 :CN120041798A ,2025-05-27
[3]
一种磁控溅射镀膜磁性靶材 [P]. 
周其刚 ;
李宪民 ;
戴慧敏 .
中国专利 :CN214782106U ,2021-11-19
[4]
一种靶材的磁性弯管机构 [P]. 
王俊锋 ;
袁明 ;
王锋 .
中国专利 :CN212357373U ,2021-01-15
[5]
一种靶材背板及钛靶材组件 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
袁波 .
中国专利 :CN212834002U ,2021-03-30
[6]
一种靶材组件 [P]. 
李晨光 .
中国专利 :CN204162776U ,2015-02-18
[7]
一种靶材组件 [P]. 
李晨光 .
中国专利 :CN204162777U ,2015-02-18
[8]
一种靶材组件 [P]. 
刘志杰 ;
于海洋 ;
杨永刚 ;
王永辉 ;
章程 ;
王伟华 ;
王绍帅 ;
李建强 .
中国专利 :CN206298637U ,2017-07-04
[9]
一种靶材组件 [P]. 
何建进 ;
陈江伟 ;
何凌男 .
中国专利 :CN212713731U ,2021-03-16
[10]
一种平面靶材 [P]. 
沈登涛 ;
曾一鑫 .
中国专利 :CN209741264U ,2019-12-06