一种CMP抛光垫修整器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610457781.6

申请日：

2016-06-21

公开(公告)号：

CN106078516B

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

董志刚康仁科段佳冬朱祥龙周平

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B5312

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

赵淑梅;李洪福

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690425979 IPC(主分类):B24B 53/017 专利申请号:2016104577816 申请日:20160621
2016-11-09	公开	公开
2018-09-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种含有多孔结构的CMP抛光垫修整器 [P].

康仁科 ;

董志刚 ;

段佳冬 ;

周平 ;

朱祥龙 .

中国专利 :CN106041741A ,2016-10-26

[2]

一种CMP抛光垫修整器下压力控制系统 [P].

廖垂鑫 ;

柳滨 ;

陈威 .

中国专利 :CN201579701U ,2010-09-15

[3]

CMP抛光垫 [P].

钱百年 ;

D·M·奥尔登 ;

M·西莫奇 ;

邱南荣 ;

曾圣桓 .

中国专利 :CN115555987A ,2023-01-03

[4]

抛光垫修整器 [P].

宋健民 ;

陈盈同 .

中国专利 :CN102049737A ,2011-05-11

[5]

抛光垫修整器 [P].

岸本正俊 ;

铃木毅裕 .

日本专利 :CN308446209S ,2024-01-30

[6]

抛光垫修整器 [P].

詹军 .

中国专利 :CN308659280S ,2024-05-28

[7]

抛光垫修整器 [P].

宋健民 ;

陈盈同 .

中国专利 :CN101844330A ,2010-09-29

[8]

抛光垫修整器 [P].

唐文林 ;

华金国 ;

常芷铭 .

中国专利 :CN309012806S ,2024-12-17

[9]

抛光垫修整器 [P].

唐文林 ;

常芷铭 ;

华金国 .

中国专利 :CN309012795S ,2024-12-17

[10]

抛光垫修整器 [P].

岸本正俊 ;

铃木毅裕 .

日本专利 :CN308410558S ,2024-01-05

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