一种复合碳化硅衬底及其制备方法

被引：0

申请号：

CN202210098073.3

申请日：

2022-01-27

公开(公告)号：

CN114447095A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

王振中

申请人：

申请人地址：

214100 江苏省无锡市惠山经济开发区堰新路311号1号楼0118室

IPC主分类号：

H01L2904

IPC分类号：

H01L2906 H01L2916 H01L21336 C30B2936 C30B3306

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/04 申请日:20220127
2022-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双层复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

王振中 .

中国专利 :CN114075699B ,2024-04-12

[2]

一种双层复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

王振中 .

中国专利 :CN114075699A ,2022-02-22

[3]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333B ,2025-10-10

[4]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333A ,2025-06-24

[5]

一种复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

郭超 ;

母凤文 .

中国专利 :CN115101584A ,2022-09-23

[6]

一种复合碳化硅衬底及其制备方法 [P].

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN115662881A ,2023-01-31

[7]

一种碳化硅复合衬底及其制备方法 [P].

范博珺 ;

刘福超 ;

母凤文 ;

谭向虎 .

中国专利 :CN118977194A ,2024-11-19

[8]

碳化硅基复合衬底 [P].

施建江 ;

杨少延 ;

刘祥林 .

中国专利 :CN201741712U ,2011-02-09

[9]

一种碳化硅复合衬底的制备方法及碳化硅复合衬底和应用 [P].

李傲雷 ;

母凤文 ;

谭向虎 ;

刘福超 ;

郭超 .

中国专利 :CN118866663A ,2024-10-29

[10]

碳化硅基复合衬底及其制造方法 [P].

施建江 ;

杨少延 ;

刘祥林 .

中国专利 :CN102208339B ,2011-10-05

← 1 2 3 4 5 →