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一种复合碳化硅衬底及其制备方法
被引：0
申请号：
CN202211644873.7
申请日：
2022-12-21
公开(公告)号：
CN115662881A
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
母凤文
郭超
申请人：
申请人地址：
300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园21-B号商务楼北3014号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
赵颖
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20221221 |
| 2023-01-31 | 公开 | 公开 |