一种碳化硅衬底的制备方法及碳化硅衬底

被引：0

申请号：

CN202210502400.7

申请日：

2022-05-09

公开(公告)号：

CN114864424A

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

欧欣伊艾伦

申请人：

申请人地址：

200050 上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L2160

IPC分类号：

H01L21324 H01L2118 H01L2104

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

方秀琴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	公开	公开
2022-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/60 申请日:20220509

共 50 条

[1]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333B ,2025-10-10

[2]

碳化硅衬底及碳化硅衬底制备方法 [P].

欧阳鹏根 ;

刘小琴 ;

盛永江 ;

杨水淼 ;

陈彦宇 ;

杨华 .

中国专利 :CN120193333A ,2025-06-24

[3]

半绝缘碳化硅衬底制备方法及碳化硅衬底 [P].

宋立辉 ;

皮孝东 ;

杨德仁 ;

黄渊超 ;

刘帅 ;

熊慧凡 .

中国专利 :CN117637449A ,2024-03-01

[4]

碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03

[5]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114761628A ,2022-07-15

[6]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

日本专利 :CN114761628B ,2024-04-12

[7]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

本家翼 .

日本专利 :CN114026672B ,2025-03-11

[8]

碳化硅衬底、碳化硅锭以及制造碳化硅衬底和碳化硅锭的方法 [P].

佐佐木信 ;

西口太郎 .

中国专利 :CN103476975A ,2013-12-25

[9]

制造碳化硅衬底的方法和碳化硅衬底 [P].

原田真 ;

佐佐木信 ;

西口太郎 ;

玉祖秀人 ;

并川靖生 .

中国专利 :CN102473594A ,2012-05-23

[10]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

本家翼 .

中国专利 :CN114026672A ,2022-02-08

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