一种半导体厂房与设备的异味监测电路

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820515756.3

申请日：

2018-04-12

公开(公告)号：

CN208238146U

公开(公告)日：

2018-12-14

发明(设计)人：

赵俊男杨怀维

申请人：

申请人地址：

250101 山东省济南市市辖区高新区天辰大街978号中试车间楼301-15室

IPC主分类号：

F24F1188

IPC分类号：

F24F1172 F24F11060 H02M704

代理机构：

济南泉城专利商标事务所 37218

代理人：

赵玉凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体厂房与设备的异味监测电路 [P].

赵俊男 ;

杨怀维 .

中国专利 :CN108332389A ,2018-07-27

[2]

半导体厂房的异味监测装置 [P].

杨波 .

中国专利 :CN117990862A ,2024-05-07

[3]

半导体设备制程厂房的微震监测装置 [P].

钱焱杰 ;

吕瑾 ;

沈静蔚 .

中国专利 :CN210894723U ,2020-06-30

[4]

一种半导体厂房气体安全监测装置 [P].

黄明乐 .

中国专利 :CN220490781U ,2024-02-13

[5]

一种半导体制冷片的在线监测电路 [P].

卢景华 ;

王耀星 .

中国专利 :CN209432918U ,2019-09-24

[6]

一种半导体电源模块电路 [P].

周万里 .

中国专利 :CN213637535U ,2021-07-06

[7]

半导体设备制程厂房的微震监测装置 [P].

杜亚锋 .

中国专利 :CN116449414B ,2024-10-25

[8]

半导体厂房净化设备 [P].

张哲 ;

吕芳栋 ;

卫元元 ;

罗鸿 ;

叶水全 ;

王奇缘 ;

简征程 ;

李建 ;

李书文 ;

徐江 ;

张旭 ;

张建 ;

卿成 .

中国专利 :CN116105251B ,2024-01-05

[9]

半导体偏压电路与半导体监测仪 [P].

苏院 ;

彭昭旭 .

中国专利 :CN212677073U ,2021-03-09

[10]

一种半导体晶圆厂房气体监控系统 [P].

罗小盛 .

中国专利 :CN207557198U ,2018-06-29

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