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半导体设备制程厂房的微震监测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921550912.0
申请日：
2019-09-17
公开(公告)号：
CN210894723U
公开(公告)日：
2020-06-30
发明(设计)人：
钱焱杰
吕瑾
沈静蔚
申请人：
申请人地址：
201700 上海市青浦区金泽镇练西路2725号-Q2
IPC主分类号：
G01V100
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-30 | 授权 | 授权 |